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SersLOGO标志

发布时间:2022-06-28

tags:光刻  分辨力  波长

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刚研制成功的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备意味着什么?对国内行业有何影响?

中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机在各大媒体上刷屏了,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,使用365nm波长就能实现。

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